晶圆ID打标设备

‌晶圆ID打标设备

具有激光功率自动补偿功能

可用于晶圆ID（OCR）打标

打标字体：OCR/B412/SEMIT7/雕刻模式

配备FOUP/机械手/预对准器/FFU/打标头&集尘模块

配备自动振镜校正功能和自动偏移补偿功能

一般光斑大小是90um

配备激光功率自动补偿功能

可用于晶圆 ID（OCR） 标记。

打标字体 ： OCR / B412 / SEMIT7 / 雕刻模式

配备FOUP开启器/机器人/预对准器/FFU/标记头和颗粒吸力装置

配备自动扫描仪校准和自动偏移补偿。

一般光斑尺寸约为 90um。

参数配置

功能描述

适用产品：8英寸、12英寸 硅晶圆

主要功能：实现晶圆OCR激光打标

进出料方式：FOUP 到 FOUP

尺寸：L2100 * W1400 * H1800mm

适用产品：8 英寸、12 英寸硅片。

主要功能：实现晶圆 OCR 的激光打标。

导入和导出方法：FOUP 到 FOUP

尺寸：L2100 * W1400 * H1800mm