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晶圆激光背面打标设备
具有激光功率自动补偿功能 可打标高翘曲产品,翘曲度≤10mm 具有上下相机图像融合功能,可以实时监测打标位置,具有打标自检功能 具有振镜自动校准,自动偏移补偿,铁环晶圆中心补偿功能 最小打标字高是0.1mm
晶圆激光背面打标设备
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