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‌得到国际&国内客户端认可的背面监控设备 自研缺陷检测算法+深度学习结合，自动缺陷Review（ADR）和自动缺陷分类（ADC） 在线复检，输出彩色图像 晶圆片背面全方位检测，最小检测缺陷0.2um 背面缺陷检测， 8大工艺皆可实…
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