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得到国际&国内客户端认可的量产型缺陷检测设备 吞吐量达到144WPH 自动缺陷检查（ADR）和自动缺陷分类（ADC） 自研缺陷检测算法+深度学习结合，自动缺陷检测（AOI）和自动缺陷分类（ADC） 内部 + 表面晶圆缺陷检测可同时检…
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