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线切自动化设备 线切自动化设备 ‌国内首台线切AGV自动化设备，成功实现对晶棒多线切设备自动上下料正在开展II期自动化研发支持大负载高精度，自动纠偏上料&物料搬运AGV自动化设备支持XYZ，Rx，Ry，Rz方向的调整研发标准化
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