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得到国际&国内客户端认可的量产型缺陷检测设备 晶圆片边缘&正背面全方位检测，最小检测缺陷0.2um 特有的Notch检测模块，做到Notch全域检测 自研缺陷检测算法，自动缺陷检测（AOI）和自动缺陷分类（ADC）
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